マスフローコントローラは、液体の質量と流量を測定し、流量を制御します。この装置は、半導体製造装置とバーナーのガス制御に使用されます。RX72M 32 ビットマイクロコントローラ (MCU) には内蔵メモリ、EtherCAT や制御ネットワーク(CAN) のインタフェースが豊富に搭載されています。このリファレンスデザインでは、システム制御と産業用ネットワークをワンチップで制御できます。

このシステムのメリット

  • RX72M MCU には EtherCAT スレーブコントローラと CAN が装備され、産業用ネットワークに対応します
  • EtherCAT、DeviceNet サンプルソフトウェアなどの産業用ネットワークソリューションを提供します

システムブロック図

画像
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